Skenirajući elektronski mikroskop (SEM) je mikroskop vrlo visoke razlučivosti koji omogućuje vidjeti male stvari vrlo detaljno. Ovo je kratak pregled načina fotografiranja uzorka pomoću jedne. Imajte na umu da je SEM vrlo osjetljiv dio opreme i da ga treba koristiti s velikom pažnjom. Međutim, pomno praćenje ovih koraka gotovo će jamčiti da nećete oštetiti svoj mikroskop. Postoje i mnoge druge značajke o kojima se ne govori u ovom članku, ali ovaj postupak opisuje kako dobiti osnovnu sliku.
Ovaj članak daje posebne upute za JEOL JSM-6010LA mikroskop. Svaki JEOL mikroskop imat će iznimno slične kontrole kao mikroskop opisan u ovim uputama. Hitachi mikroskopi također će biti vrlo slični, ali druge marke poput Zeissa mogu imati kontrolne tipke na različitim mjestima.
Koraci
Korak 1. Uzmite pripremljeni uzorak
Priprema uzorka za elektronsku mikroskopiju vrlo je dubinski postupak sam po sebi, pa za ovaj postupak upotrijebite uzorak koji je za vas pripremljen. Ako se uzorak priprema za SEM, morat će imati odgovarajuću veličinu i također mora imati vodljivu površinu. Budući da je uzorak već pripremljen, ovaj će članak pretpostaviti da zadovoljava ove kvalifikacije.
Korak 2. Dovedite SEM na atmosferski tlak kako biste otvorili vrata uzorka
Shvatite da će SEM uvijek biti uključen, a komora za uzorke uvijek pod vakuumom. To znači da će komora biti potpuno prazna od molekula plina pa će elektroni imati jasan put prema uzorku. Pritisnite i držite tipku VENTILACIJA sve dok ne počne bljeskati i čuti ćete klik. Gumb VENT nastavit će treperiti sve dok se okolina u komori ne podigne na atmosferski tlak. Nakon što tipka VENT svijetli narančasto, to znači da je komora pod atmosferskim tlakom i da možete otvoriti vrata.
Korak 3. Stavite rukavice
To je iznimno važno jer komora SEM -a mora ostati vrlo čista!
- Rukama s obje strane vrata polako klizite kroz vrata.
- Kad se vrata otvore, pažljivo zgrabite držač uzorka i gurnite ga udesno. Otpustit će se iz utora i sada možete umetnuti uzorak.
- Na svakom od četiri ugla držača uzorka nalaze se dva pričvrsna vijka koji drže uzorak na mjestu. Lagano otpustite ove vijke (pola okreta odvijača bi trebalo biti dovoljno), a zatim izvadite prazni uzorak iz držača.
- Za sada možete ostaviti prazan uzorak, ali svakako ga stavite na Kimwipe, a ne izravno na stol ili stol. Stavite svoj uzorak u držač, a zatim pritegnite vijke.
- Kad je vaš uzorak na mjestu, gurnite držač uzorka natrag u njegove utore na stupnju uzorka.
- Sada možete zatvoriti vrata guranjem vrata natrag u komoru.
Korak 4. Dok držite vrata zatvorena, pritisnite i držite tipku EVAC dok ne počne treptati kako biste komoru vratili pod vakuum
Čut ćete klikove, a nakon otprilike minute čuti ćete kako se turbine pumpe okreću. Ove crpke će ukloniti sve čestice plina iz komore i dovesti unutarnji tlak na oko 10^-6 torr. Kad tipka EVAC svijetli zeleno, to znači da je komora u vakuumu. Sada pričekajte dodatnih 5 minuta prije nego nastavite na sljedeći korak.
Korak 5. Nakon što istekne 5 minuta, spremni ste za uključivanje elektronskog snopa i početak fotografiranja
- Idite na SEM računalo i softver za mikroskop bi trebao biti uključen. Zeleni gumb u gornjem desnom kutu zaslona reći će OFF, što znači da je elektronski snop isključen. Pritisnite ga da biste uključili snop, a zatim će se prikazati ON.
- Zatim kliknite gumb ACB (automatski kontrast i svjetlina) i vaš bi se uzorak trebao pojaviti.
- Pomoću gumba za povećanje na upravljačkoj ploči povećajte željeno povećanje. Dobro je fokusirati svoju sliku na veće povećanje nego što želite za svoju sliku, stoga će vaša slika izgledati bolje kada je umanjite. Na primjer, ako želite sliku od 2, 500x, možda ćete se htjeti fokusirati na oko 4 000x.
- Nakon što ste zumirali, pomoću gumba za fokus izoštrite svoju sliku.
Korak 6. Podesite visinu uzorka
Sada je vaš uzorak u fokusu, no mogli biste primijetiti da ne izgleda tako dobro kao što biste očekivali.
- Ispod slike vašeg uzorka na ekranu računala vidjet ćete radnu udaljenost navedenu kao "WD x mm" gdje je x broj obično oko 10-20. Zabilježite ovaj broj.
- Za dobre slike možda biste trebali koristiti radnu udaljenost od 10 mm. To znači da je snop fokusiran 10 mm od leće. Da biste postavili radnu udaljenost, kliknite na "WD x mm" i pojavit će se klizač koji vam omogućuje da promijenite bilo koji broj x na 10. Nastavite i kliknite 10.
- Trenutno je visina uzorka Z = 25 mm. Za promjenu visine uzorka upotrijebit ćete Z-gumb. Ovaj dio može biti zeznut. Kolika god bila izvorna radna udaljenost, oduzmite 10 od i to je koliko ćete trebati za pomicanje Z-gumba. Na primjer, ako je vaš WD bio 16 mm, a promijenili ste ga na 10 mm, morat ćete pomaknuti Z-gumb prema dolje za približno 6 mm. Tako ćete ga okrenuti na otprilike 19 mm.
- Dok okrećete Z-gumb, promatrajte zaslon jer će se početi fokusirati. Kad bude u fokusu, vaša je slika spremna!
Korak 7. Umanjite prikaz na željeno povećanje i ako se želite pomaknuti na drugo područje uzorka, možete koristiti tipke X i Y
Također možete prilagoditi kontrast i svjetlinu prema svojim željama. Kad pronađete područje koje vam se sviđa, fotografirajte klikom na ikonu kamere na kojoj piše "STORE". Ovo će otvoriti dijaloški okvir koji vam omogućuje spremanje slikovne datoteke. Datoteci možete dodijeliti naziv prema vlastitom izboru i pohraniti je u bilo koju mapu na računalu ili na flash pogonu.
Korak 8. Isključite elektronski snop klikom na zeleni gumb s natpisom "ON" u gornjem desnom kutu
Prije nego nastavite, provjerite piše li "OFF". Okrenite gumbe X, Y i Z tako da svaka vrijednost bude 25 mm. Sada pritisnite i držite tipku VENTILACIJA dok ne zatrepće kako biste vratili komoru za uzorak na atmosferski tlak.
Korak 9. Otvorite komoru za uzorke kad tipka VENT stalno svijetli narančasto
Nakon što izvadite uzorak iz držača, vratite prazni uzorak u držač i gurnite ga natrag u stupanj uzorka. Vratite vrata natrag u zatvoreni položaj. Na kraju, pritisnite i držite tipku EVAC dok ne zatrepće. SEM komoru NIKADA ne ostavljajte ventiliranom, to može uzrokovati oštećenje dijelova iznutra. Nakon što tipka EVAC zasvijetli zeleno, spremno je napustiti SEM.
Upozorenja
- Vrlo je važno nositi rukavice pri dodirivanju svega što će ući u komoru za uzorke!
- Nikada ostavite komoru SEM prozračenom. Ako napustite SEM, provjerite da gumb EVAC svijetli stalno zeleno.
- Ako vaš uzorak nije pripremljen posebno za SEM, nemojte ga stavljati u mikroskop! Neki uzorci jednostavno se neće dobro prikazati, ali drugi mogu uzrokovati oštećenja unutarnjih dijelova.
